新铂科技助力东莞长安镇真空镀膜产业迈向新高地
2025年11月12日,“长安镇真空镀膜企业科技赋能研讨会”(科技+产业方舟系列活动)在东莞市长安国际酒店成功举行。本次会议由东莞市长安镇经济发展局与松山湖材料实验室联合主办,新铂科技(东莞)有限公司与平安银行东莞分行共同协办
同步偏压配合HiPIMS能有什么神奇的化学反应呢?
HiPIMS技术广泛用于硬质涂层与金属薄膜沉积,在TiAlN、CrAlTiN等耐磨耐高温陶瓷涂层制备中表现成熟。该工艺通常需施加−100 V以上的基底偏压,以增强吸附原子迁移率并借助高能离子引发次注入效应,从而形成致密且力学性能的薄膜。然而,高偏压会同步加速工艺气体离子进入薄膜间隙位置,引入较高的压缩应力,成为该技术的主要局限。而同步偏压的出现,让我们看到了突破希望。
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