HIPiMS技术(高功率脉冲磁控溅射技术)对材料性能的影响主要体现在薄膜的微观结构、致密度、机械性能以及功能特性等方面。
在工业领域,像高功率脉冲激光加工设备,为实现材料切割、焊接或表面处理,其脉冲频率一般在几十赫兹到几千赫兹。例如切割薄金属板材时,几十赫兹的脉冲频率能在保证切割质量的同时,有效控制热影响区域,防止板材因过热变形。
在化学气相沉积(CVD)真空镀膜中,反应气体的选择与配比宛如一双无形却有力的大手,对镀膜的成分和性能起着决定性作用。