真空电源从“Nokia”到“Iphone”

用户体验，是PVD电源的未来发展方向。以HipIMS-400A电源为例。

2023年4月25日，新铂科技创始人田修波教授受邀参加了中国真空镀膜行业发展趋势高峰论坛（成都），在论坛上做了“新型智能HiPIMS电源及高能脉冲PVD装备”的主题报告。报告主要聚焦于真空镀膜电源和装备的未来走向，他强调：体验感是人类永恒的话题；技术进步源于需求和兴趣；市场需求永远是PVD硬件装备的灵魂。

田教授的报告，从航天飞行的全景效应展开。只有跳出地球才能看清地球。同样对于PVD的电源及装备也是如此。只有跳出PVD,才能发现PVD的未来走向。

他以“吃饭、走路均可控的HiPIMS电源”，为演讲的开始。

提出PVD电源及装备的未来走向一定是新体验，让PVD电源不再是单纯的冷冰冰的电源，也不需要等测试结果在好几天后才可以得到反馈。让PVD工艺和工艺预测及反馈变得更快，更及时。

与传统的PVD电源有所不同，新型的磁控电源更具有亲和感，让研发更具“快乐”。

电源可以给工艺提出建议、可以提供内部波形、提供参考数据库等等（与工艺内在的物理），就像与人交流，在有问题的地方可以迅速反馈出来，让工艺和研发变得更加具有体验感和互动感，不再像是对着一个单纯的机器那般那么枯燥无助。

他报道的HiPIMS-400A电源具有：

１.便捷性，手机遥控功能，走路吃饭或运动时均可控制正在进行的实验。无需时时刻刻关注设备，只需要掏出手机一看，即可改变各种参数

２.多种波形组合，可以获得常规电源无法得到的工艺区间。

３.内置显示单元可方便给出电压电流等波形。

４.具有专家数据库，如CrN，TIAlN等涂层，行业顶尖的科学家在用什么参数做，使得初手设计工艺更加简单和快捷。

５.电源自身可以编程可优化工艺参数。

６.该电源无需经过中央控制系统即可与其他电源可以直接通讯。

７.该系统具有与最佳参数的比对功能，大概率告诉此炉与最佳工艺有多少偏差，进而判断本炉的产品质量。

８.该电源具有自打分功能，让工艺人员变得不再枯燥。等等。