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磁控电源主要型号：
型号 | HiPIMS-400 | HiPIMS-1000D | HiPIMS-1000DD | |
输出功率 | 20kW | 30kW | 40kW | 60kW |
脉冲电压范围 | 200~1000V | 200~1000V | 200~1000V | 200~1000V |
脉冲峰值电流 | 400A | 1000A | 1500A | 2000A |
脉冲频率范围 | 100~2500Hz | 20~1000Hz | 20~1000Hz | 20~1000Hz |
脉冲脉宽范围 | 10~500uS | 10~300uS | 10~300uS | 10~300uS |
直流电压范围 | 200~750V | 200~750V | 200~750V | 200~1000V |
直流电流 | 0.5~20A | 0.5~20A | 0.5~20A | 1~200A |
模块同步 | 光纤 | 光纤 | 光纤 | 光纤 |
尺寸 | 长900mm宽480mm高220mm | 长910mm宽480mm高350mm | 长910mm宽480mm高350mm | 长910mm宽480mm高350mm |
重量 | 100KG | 120KG | 120KG | 150KG |
波形接口 | 输出电压/脉冲电流BNC(200:1) | 输出电压/脉冲电流BNC(200:1) | 输出电压/脉冲电流BNC(200:1) | BNC电压/电流 |
工业通讯端口 | RS485/TCP(Modbus) | RS485/TCP(Modbus) | RS485/TCP(Modbus) | RS485/TCP(Modbus)/Profinet,定制 |
特点应用 | 波形多变，适合小靶材，校园科研用 | 高性价比，可定制双极波形输出 | 脉冲带正压，固定幅值输出 | 高压大电流，脉冲电流波形规整 |
应用推荐 | 膜层试样 | 生产试样，小批量生产 | 高质量膜层连续生产线 | 汽车、模具、高质量膜层生产线 |
主要特点：
采用工业通讯端口：RS485/CAN/Profibus/Profinet/TCPIP/EarthCAT
产品优势：
稳定专业的驱动模块
高密度集成电路模块
高品质原材料
专业的结构设计
自制传感器
质量保障：
高端的测试设备
完善的检测流程
丰富的测试设备
特点应用：
脉冲带正压，固定幅值输出
应用推荐：
高质量膜层连续生产线
磁控电源产品细节图：
| 输出功率： | 40kW |
| 脉冲电压范围： | 200~1000V |
| 脉冲峰值电流： | 1500A |
| 脉冲频率范围： | 20~1000Hz |
| 脉冲脉宽范围： | 10~300uS |
| 直流电压范围： | 100~750V |
| 直流电流： | 40A |
| 模块同步： | 光纤 |
| 波形接口： | BNC电压/电流 |
| 工业通讯端口： | RS485/CAN/Profibus/Profinet/TCPIP/EarthCAT，定制 |
| 特点应用： | 脉冲带正压，固定幅值输出 |
