新铂自研HiPIMS及同步复频Bias电源,提高镀膜结合力!
输出功率:40kW,脉冲电压范围:200~1000V,脉冲峰值电流:1500A,脉冲频率范围:20~1000Hz,脉冲脉宽范围:10~300uS,直流电压范围:100~750V,直流电流:40A,模块同步:光纤