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| 型号 | HiPIMS-1000SDP(双极引燃电源) | |
| 输出MAX功率 | 20kW | 30KW |
| 引燃脉冲电压MAX值 | ±MAX 2000V | |
| 引燃脉冲相位设置范围 | 0~50uS | |
| 引燃脉冲脉宽设置范围 | 1~100uS | |
| 脉冲电压范围 | ±200~1000V | |
| 脉冲平均电流 | 0.5~30A | 0.5~60A |
| 脉冲频率范围 | 20~4000Hz | |
| 脉冲脉宽范围 | 10~300uS | |
| 靶峰值电流保护设定范围 | 200~1000A设定 | |
| 正脉宽相位 | 10-50000uS | |
| 同步 | 电信号IN:5~15V,max30mA;OUT:5~30V,max2A | |
| 波形接口 | 输出电压/脉冲电流BNC (200:1) | |
| 面板 | 触控屏（7寸）+BNC接口 | |
| 工业通讯端口 | RS485/TCP (Modbus) | |
| 冷却方式 | 水冷+风冷（前进后出） | |
| 输入电源 | AC380V三相四线+静电地线（大于16mm2线缆） | |
| 尺寸 | 长-L-650mm*宽-D-430mm*高-H-489mm | |
| 重量 | 150KG （木箱尺寸长112cm宽72cm高67cm ） | |
| 冷却方式 | 风冷+水冷 | |
