| 型号 | Bias-80k | u-SynBias-80KHz |
| 负压电压范围 | -10 ~ -750V | -2000 ~ 400V |
| 脉冲峰值电流 | 80A | 80A |
| 输出MAX功率 | 10KW | 1-2KW |
| 脉冲频率范围 | 10~80kHz | 10~80kHz |
| 负压脉冲脉宽范围 | 0.5~95uS | 0.5~95uS |
| 模块同步 | 电信号/光纤 | |
| 波形接口 | 输出电压BNC(200:1)/ 脉冲电流BNC (10:1) | |
| 工业通讯端口 | RS485/TCP (Modbus) | |
| 特点应用 | 偏压同步,可与P3E、HiPIMS同步生产工艺,具有三种同步模式,可直流模式 | |
| 冷却方式 | 风冷 | |
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