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型号Bias-80ku-SynBias-80KHz
负压电压范围-10 ~ -750V-2000 ~ 400V
脉冲峰值电流80A80A
输出MAX功率10KW1-2KW
脉冲频率范围10~80kHz10~80kHz
负压脉冲脉宽范围0.5~95uS0.5~95uS
模块同步电信号/光纤
波形接口输出电压BNC(200:1)/ 脉冲电流BNC (10:1)
工业通讯端口RS485/TCP (Modbus)
特点应用偏压同步,可与P3E、HiPIMS同步生产工艺,具有三种同步模式,可直流模式
冷却方式风冷