P3E(高功率脉冲阴极弧电源)具有引弧、断弧自检重引弧的功能,直流或者直流+脉冲组合输出,并可偏压同步。与市面上主流的多弧电源相比,它的优势是离子束大、镀膜膜层细腻,外加磁场可以改善电弧放电,使电弧细碎,细化涂层颗粒,增加带电粒子的速率,并可以改善阴极弧靶面刻蚀的均匀性,提高靶材的利用率。适用于PVD硬质涂层,例如刀具、模具、滑动件等。
型号 | P3E-1500 | P3E-2000 | |
脉冲空载电压 | 1200V±20% | 1200V±20% | 120V±1% |
脉冲峰值电流 | 1000A | 1500A | 2000A |
脉冲频率范围 | 150~500Hz | 150~500Hz | 10~10000Hz |
脉冲脉宽范围 | 50~500uS | 50~500uS | 20~3000us |
直流空载电压 | 120V | 120V | 150-350V |
直流电流 | 30~80A | 30~80A | 30~150A |
波形接口 | BNC电压/电流(200:1) | BNC电压/电流(200:1) | BNC电压/电流(200:1) |
工业通讯端口 | RS485/TCP (Modbus) | RS485/TCP (Modbus) | RS485/TCP (Modbus) |
特点应用 | 高性价比 | 峰值电流大、离化率高 | 高化率高、功率大 |
应用推荐 | 工艺品、金属、刀具 | 大型单机体或者连续生产线 | 大型设备 |
冷却方式 | 风冷 | 风冷 | 水冷+风冷 |
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