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P3E(高功率脉冲阴极弧电源)具有引弧、断弧自检重引弧的功能,直流或者直流+脉冲组合输出,并可偏压同步。与市面上主流的多弧电源相比,它的优势是离子束大、镀膜膜层细腻,外加磁场可以改善电弧放电,使电弧细碎,细化涂层颗粒,增加带电粒子的速率,并可以改善阴极弧靶面刻蚀的均匀性,提高靶材的利用率。适用于PVD硬质涂层,例如刀具、模具、滑动件等。

型号

P3E-1000

P3E-1500

P3E-2000

脉冲空载电压

1200V±20%

1200V±20%

120V±1%

脉冲峰值电流

1000A

1500A

2000A

脉冲频率范围

150~500Hz

150~500Hz

10~10000Hz

脉冲脉宽范围

50~500uS

50~500uS

20~3000us

直流空载电压

120V

120V

150-350V

直流电流

30~80A

30~80A

30~150A

波形接口

BNC电压/电流(200:1)

BNC电压/电流(200:1)

BNC电压/电流(200:1)

工业通讯端口

RS485/TCP (Modbus)

RS485/TCP (Modbus)

RS485/TCP (Modbus)

特点应用

高性价比

峰值电流大、离化率高

高化率高、功率大

应用推荐

工艺品、金属、刀具

大型单机体或者连续生产线

大型设备

冷却方式

风冷

风冷

水冷+风冷