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| 型号 | HiPIMS-400A | HiPIMS-1000D | HiPIMS-1500D | HiPIMS-1000DP |
| 输出MAX功率 | 20KW | 30KW | 30KW | HiPIMS-1000D的基础上增加引燃功能。 1.引燃脉冲MAX值：2000V； 2.引燃脉冲相位设置范围：0~50uS； 3.引燃脉冲脉宽设置范围：1~100uS； |
| （脉冲10KW+直流10KW） | （脉冲15KW+直流15KW） | （脉冲20KW+直流10KW） | ||
| 脉冲电压范围 | 200~1000V | 200~1000V | 200~1000V | |
| 脉冲峰值电流 | 400A | 1000A | 1500A | |
| 脉冲频率范围 | 100~2500Hz | 20~4000Hz | 20~1000Hz | |
| 脉冲脉宽范围 | 10~500uS | 10~300uS | 10~300uS | |
| 直流电压范围 | 200~750V | 200~750V | 200~750V | |
| 直流MAX电流 | 0.5~20A | 0.5~20A | 0.5~20A | |
| 模块同步 | 电信号 | 电信号 | 电信号 | |
| IN:5~15V,max30mA; | IN:5~15V,max30mA; | IN:5~15V,max30mA; | ||
| OUT:5~30V,max2A | OUT:5~30V,max2A | OUT:5~30V,max2A | ||
| 波形接口 | 输出电压/脉冲电流BNC (200:1) | 输出电压/脉冲电流BNC (200:1) | 输出电压/脉冲电流BNC (200:1) | |
| 工业通讯端口 | RS485/TCP (Modbus) | RS485/TCP (Modbus) | RS485/TCP (Modbus) | |
| 特点应用 | 波形多变，适合小中靶材，适合研发使用 | 高性价比，可定制双极波形输出 | 脉冲带正压，急速灭弧，高峰值电流 | |
| 应用推荐 | 膜层试样，批量生产 | 膜层试样，批量生产 | 高质量膜层连续生产线，适合大型设备 | |
| 冷却方式 | 风冷（左进右出） | |||
