镀膜工艺技术分类和理论

　　镀膜工艺技术分类和理论如下：

　　镀膜工艺技术分为真空蒸发镀膜、电阻式蒸发镀膜、电子束蒸发镀膜等。

　　真空蒸发镀膜是把待镀膜的基片或工件置于高真空室内，通过加热使成膜材料气化（或升华）而淀积到基片或工件表面上，从而形成一层薄膜的工艺过程。

　　电阻式蒸发镀膜是蒸发源是真空蒸发镀膜机的关键部件，根据蒸发源的不同可将真空蒸发镀膜分为以下几种：蒸发源电子束加电子束加热式热式电阻加热电阻加热式式感应加热感应加热热热激光加热式激光加热式蒸发源电子枪加热电阻高频螺旋线圈大功率激光器优点可蒸镀高熔点膜材，蒸发速率快，膜材不受容器污染，可蒸镀高纯度薄膜。结构简单造价便宜适合大批量生产。蒸发速率大（电阻式10倍），温度均匀。可蒸发高熔点面膜材，激光器只能装在真空室外对薄膜污染少。蒸发装置屏蔽需要高频发射器。

　　电子束蒸发镀膜的电子枪灯丝是损耗零件，需定期更换。